Плазма травировка машинасынынъ къурулышы .

ИКП донатмасы эсасен дёрт къысымдан ибарет: пре-вакуум камера, травировка камера, газ берюв системасы ве вакуум системасы.

(1) Пре-вакуум камера .

Пре-вакуум камеранынъ вазифеси — травировка камерасыны белли бир вакуум севиесинде тутмакъ, тышкъы муитнинъ (тоз, сув бувлары киби) тесир этмемеси ве темиз одадан хавфлы газларны айырмасыдыр. О, къапакътан, манипулятордан, узатма механизминден, изоляция къапусындан ве иляхреден ибарет.

2) Травировка одасына .

Травировка камера-сы ИКП травировка донатмасынынъ озьек къурулышыдыр. О, гравирлевнинъ сурьатына, гравирлевнинъ вертикальлигине ве къабалыгъына догърудан-догъру тесир эте. Травировка камеранынъ эсас компонентлери: юкъары электрод, ИКП радиочастота блогы, РЧ радиочастота блогы, ашагъы электрод системасы, араретни идаре этмек системасы ве иляхре.

3) Газ берюв системасы .

Газ берюв системасы чешит травка газларыны травка камерасына еткизмек, басым контроллери (ПК) ве кутьлевий акъымы контроллери (КАК) вастасынен газнынъ акъымынынъ тезлигини ве акъымыны догъру идаре этмектир. Газ берюв системасы газ менбасы шишесинден, газ берюв бору ёлундан, идаре этюв системасындан, къарыштырув блогындан ве иляхреден ибарет.

4) Вакуум системасы .
Эки вакуум системасы бар, бириси пре-вакуум камерасына, экинджиси исе травировка камерасына. Пре-вакуум камерасыны механик насос ярдымынен бошаталар. Тек вакуумдан эвельки -камерадаки вакуум севиеси бельгиленген къыйметке етсе, вафлини кочюрмек ичюн изоляция къапусыны ачмакъ мумкюн. Травировка камерасындаки вакуум механик насос ве молекуляр насос ярдымынен теминлене. Травировка камера-сында реакция иле пейда олгъан газлар да вакуум системасы ярдымынен эвакуация этиле.