Плазма темизлейиджилернинъ махсус къулланмалары .

Плазма темизлев/травировка машиналары электрик мейданыны яратмакъ ичюн эки электродны къапалы савуткъа къойып, плазма чыкъаралар. Вакуумнынъ белли бир севиесини сакъламакъ ичюн вакуум насосы къулланыла. Газ сийреклешкен сайын, молекулалар арасындаки месафе ве молекула я да ионларнынъ сербест арекети де арта. Электрик мейданынынъ тесири алтында бу ионлар чарпышып, плазма мейдангъа кетире. Бу ионлар юксек реактивликке малик олып, оларнынъ энергиясы деерлик бутюн химиявий багъларны узмек ичюн етерлидир, олар эр бир ачылгъан юзюнде химиявий реакциялар догъуралар. Чешит газ плазмаларынынъ химиявий хусусиетлери чешиттир. Меселя, оксиген плазмасы пек оксидлей, фоторезистни оксидлеп, газ чыкъармагъа къабилиетлидир, бойлеликнен темизлев эффектине ирише. Коррозиялы газ плазмасынынъ мукеммель анизотропиясы бар, бу исе травировка талапларына джевап бере. Плазма иле тедавийлев парылдав мейдангъа кетире, шунынъ ичюн де парылдав разряды деп адландырыла.
Плазманынъ темизленюв механизми, биринджи невбетте, юзюнинъ лекелерини ёкъ этмек ичюн плазмадаки фааль парчачыкъларнынъ «фаальлешмесине» таяна. Реакция механизми джеэтинден плазманынъ темизленмеси, адет узьре, бойле джерьянны озюне ала: органик олмагъан газлар плазма алына къозгъала; газ шекилли мадделер къатты юзюне адсорбциялана; адсорбциялангъан группалар къатты юзюндеки молекулаларнен реакциягъа кирип, махсулат молекулаларыны мейдангъа кетире; махсулат молекулалары газ фазасына парчалана; ве реакция къалдыкълары юзюнден чыкъарыла.

Плазма темизлев технологиясынынъ энъ муим хусусиети шунда ки, о, эр бир тюрлю субстратны, шу джумледен маденлерни, ярымкечириджилерни, оксидлерни ве полипропилен, полиэфир, полиимид, поливинилхлорид, эпоксид, атта политетрафторэтилен киби полимер материалларнынъ чокъусыны ишлете биле. О, эм бутюн юзюни, эм де белли бир ерлерни, эм де муреккеп къурулышларны темизлей биле.